开元体育《物流技术与应用》打造国内首个洁净物流系统AMHS服务半导体行业发展创新

　　开元体育《物流技术与应用》打造国内首个洁净物流系统AMHS服务半导体行业发展创新沙龙在CeMAT ASIA 2024展会上，各种高水平论坛和研讨会同期举行，尤其是主办方多年打造的品牌论坛——CeMAT ASIA创新沙龙，为行业提供了宝贵的交流机会。11月7日，以“洁净物流系统AMHS服务半导体行业发展”为主题，由《物流技术与应用》杂志与汉诺威米兰展览（上海）有限公司共同举办的创新沙龙活动在上海新国际博览中心OW3馆举行，这也是国内首个针对该领域的专业技术交流论坛。

　　洁净车间使用的AMHS（Automatic Material Handling System，自动物料搬运系统）是高度专业化的物料搬运系统，技术门槛较高，目前主要应用于半导体、液晶、新能源、生物医药等尖端制造行业。放眼全球，AMHS市场份额长期由日、韩企业垄断，我国物流装备企业尚未突破“百台”门槛，与国际头部企业在技术上存在客观差距。因此，本场论坛吸引了各方关注，活动现场座无虚席。

　　论坛活动由《物流技术与应用》杂志副主编江宏女士主持，六位演讲嘉宾围绕半导体行业发展、国内AMHS企业发展、AMHS规划建设要点等方面进行内容展开，并针对AMHS核心部件技术，从自动控制和感应供电两个领域进行了深入交流，将我国半导体领域的物流系统发展现状全景式展现在与会者面前。

　　在全球数字化发展的大背景下，芯片需求量激增，半导体行业蓬勃发展。上海市集成电路行业协会发展研究部部长刘林发先生首先发表演讲，从半导体行业先进封测工艺、存储工艺、主要厂商布局、新兴国际联盟、本土制造封测兴起等五个方面展开，为大家描绘了半导体行业的发展现状及前景。

　　据他介绍，在目前的半导体行业中，既有台积电、英特尔等国际龙头企业，也有汇集各方力量的新型国际联盟在兴起。例如，Chiplet、CUle、3D Fabric、多芯片集成联盟、硅光子产业联盟等近年成立的“新势力”，在半导体行业的影响力逐渐加强，而国内的华虹集团、中芯国际等企业也在迅速崛起。

　　“目前正处在半导体行业技术发展创新的十字路口。”刘林发强调，在世界范围内，英特尔、三星、台积电等半导体头部企业工艺制程技术已经实现1.8纳米小批量生产，甚至已逼近1.6纳米。而半导体行业技术的持续突破，使晶圆厂（FAB）对制造生产的洁净及精度要求显著提高，天车系统（OHT）的重要程度也将进一步提升。除封测、存储领域外，未来硅片生产（超硅）也将会成为AMHS的重点应用场景。

　　随着中美贸易摩擦加剧，特别是美国提出“芯片法案”后，我国半导体产业供应链安全愈发受到重视，而国产替代的推进为国内AMHS相关企业发展提供了新的机遇。如今，我国半导体物流发展被认为极具市场潜力，成为各企业争先进入的新赛道。

　　在苏州新施诺半导体设备有限公司总经理王宏玉先生的演讲中，对半导体行业AMHS国产化发展现状及趋势进行了全面分析。据介绍，全球AMHS市场主要由日、韩厂商垄断，瓜分了近85%的市场份额。随着国产替代的不断推进，国内半导体物流产业发展迎来新契机，目前国内AMHS供应商有二十余家，主要涉及AMR+ROBOT解决方案（6英寸、8英寸晶圆厂居多）和OHT天车解决方案（12英寸晶圆厂居多，洁净要求高），存在明显的行业技术瓶颈和激烈的价格战。

　　作为专注于AMHS行业的老将开元体育，王宏玉将AMHS称为“半导体物流天花板”，他详细介绍了各项技术在OHT领域的迭代过程，并指出我国在OHT轻量化设计、选择、CPU选择、操作系统、多核异构的架构、调度策略、感应供电、合流控制等方面仍有发展空间。

　　王宏玉表示开元体育，目前国内AMHS技术与国外仍存在一定差距，以客户角度来看，我国AMHS供应商成熟度不足，主要表现为：产品的稳定性不够、产品的技术不成熟、软件的稳定性不足、对生产工艺的理解不充分。缺少“百台”以上AMHS落地的案例，甲方企业进而不愿承担目前使用国产AMHS产品的风险。而技术层面的瓶颈，也限制了国内AMHS设备商出海的步伐。因此，国内企业需要以长期主义心态逐渐攻破技术瓶颈，走“学习、落地、再创新”的发展路径，OHT国产化需要厂商不断学习引进国外先进经验，在项目落地后进行技术迭代和验证，通过再创新形成新的规模优势后再出海。在未来，数字孪生、AI技术、AMR技术等新技术和新型材料的应用，均能成为国内AMHS厂商“弯道超车”的突破口，也是国内半导体物流行业需要重点关注和探索的发展方向。

　　成川科技（苏州）有限公司VP肖永刚先生的演讲，针对AMHS规划建设要点进行了解析，并从半导体AMHS规划概要、AHMS规划设计基准、产线差异及规划方法等三方面进行详细解读。

　　AMHS对物流规划设计的精度要求极高，肖永刚在演讲时强调要遵守“先规划、后实施；先局部，后整体”的规划实施原则。具体来说，AMHS规划实施包括沟通阶段、设计阶段、验证阶段、方案敲定、设计细化、设计出图等几个步骤。在正式开始规划前，需要准确调查产线层高、设备布局、产线信息、系统基础信息，与业务部门充分沟通，了解规划基本条件。工程师应对新产线、旧产线需要实行差异性规划，尤其对旧厂房升级更要因地制宜，不可一概而论。

　　据他介绍，半导体行业不同产线的要求差异性也很大，其物流规划设计需要工程师对于产业链各环节高度熟悉，根据产线场景选择最适合的自动化设备。例如，FAB产线要求标准化和可靠性；传统封测则因其复杂度需要高度定制；硅片制造的洁净度要求更高。随后，他从晶圆制造（FAB）、封测制造、SIMULATION、AMHS布局等具体环节的自动化设计要点进行了详细梳理。

　　在本次沙龙的后半程，主题聚焦AMHS核心部件技术发展领域。AMHS核心部件可靠性与技术创新，是支撑半导体企业高效产出的关键一环。三位嘉宾分别针对自动控制、感应供电技术等领域发表演讲，带来半导体物流行业前沿的技术见解与行业洞察。

　　围绕AMHS的自动控制，松下电器机电（中国）有限公司商品部经理徐迪女士介绍了半导体领域的工业自动化核心部件技术产品，并详细分享了松下的光纤、光电、漏液检测、位移传感器、伺服驱动等产品，是如何在半导体硅片制造的前道、后道工艺中发挥作用的。例如，其FT-H/FD-H光纤可以实现350℃高温下晶圆的稳定检测；其具备高速响应和远距离检测功能的FX 500系列放大器，可发送入光量数据等信息，通过上位设定基准值实现可追溯性；其位移传感器 HG-S1110可直接接触平台，在狭窄空间内精准检测装载晶圆的平台升降位置。

　　欧姆龙自动化（中国）有限公司第一行业开发统辖事业部部长陶军先生演讲的主题是“欧姆龙助力半导体行业新质时代自动化”。据介绍开元体育，欧姆龙已经关注到我国半导体核心工艺设备需求的巨大市场潜力。目前，国内设备的生产效率和良品率相较于国外同类产品仍有差距，国产化率尚不足5%，而实现国产化的核心突破点在于温度控制技术。陶军向观众分享了众多半导体行业应用案例，着重介绍了Load Port检测、ROBOT控制、晶圆对齐等环节的自动控制。此外，其AMR解决方案在全厂物流自动化系统工程中整合了“AIV+Cobot+PLC+Safety”，可实现洁净室空间优化、生产效率提升，并大幅降低生产成本。

　　重庆前卫无线技术有限公司市场部总监宋闫岩先生在“轨道无线电能传输技术发展与应用”的主题演讲中表示，目前我国运载设备无线供电系统市场预期较为稳定，尤其在液晶面板设备制造领域。然而，洁净车间AMHS领域中的无线供电系统长期被日、韩、德系企业垄断，国内在ECO能量存储单元、外部电压瞬降补偿、不同轨道间电流相位同步等关键技术领域的突破进展缓慢。作为行业代表性企业，重庆前卫无线技术有限公司通过全套产品数字化仿真模型、精细化电磁参数匹配设计及控制策略以及多应用场景的产品适配经验，可确保无线供电方案的稳定性、洁净度、高效与安全。

　　多年来，《物流技术与应用》杂志一直敏锐洞察前沿市场发展，努力搭建业界沟通的平台。此次创新沙龙活动，是继2024年第5期推出“洁净物流系统建设与关键技术发展”专题报道后，《物流技术与应用》对于半导体行业AMHS建设与发展的再次深度关注。通过各位演讲嘉宾的分享，希望能够从宏观到微观，从系统设计到零部件选择，全面而立体地展现我国半导体物流行业的发展现状和趋势。

　　我们看到，在大力推进核心技术国产替代的时代背景下，作为物流装备企业竞逐的新赛道，AMHS国产化进程将持续提速。AMHS将不仅是半导体行业晶圆制造、封测等环节的“标配”，在液晶显示、新能源等领域也有着广泛的应用前景。加强AMHS产业链上下游合作与协同创新，共同推动核心部件技术的突破与升级，是推动我国半导体企业实现长远发展的核心驱动力，国内AMHS设备商在突破一系列技术瓶颈后也必定大有可为。