开元体育北京京仪自动化装备技术股份有限公司取得吸盘旋转组件及晶圆预对准控制装置专

　　开元体育北京京仪自动化装备技术股份有限公司取得吸盘旋转组件及晶圆预对准控制装置专利有效减小了吸盘旋转组件在沿输出轴轴向上的高度金融界2025年1月16日消息，国家知识产权局信息显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司取得一项名为“吸盘旋转组件及晶圆预对准控制装置”的专利，授权公告号CN 222338256 U开元体育，申请日期为2023年12月。

　　专利摘要显示，本实用新型涉及半导体设备技术领域，提供一种吸盘旋转组件及晶圆预对准控制装置。吸盘旋转组件包括吸盘组件和驱动部，吸盘组件适于吸附晶圆；驱动部与吸盘组件固定连接，适于带动吸盘组件旋转；驱动部包括架体和驱动电机组件，架体设有第一通孔；驱动电机组件固定连接于架体，驱动电机组件设有输出轴，输出轴穿过第一通孔与吸盘组件密封连接；输出轴的外侧壁与第一通孔的内侧壁之间设有密封空间，输出轴设有出气通道，架体设有进气通道；进气通道、密封空间、出气通道和吸盘组件依次连通。通过将输出轴与架体密封连接，在输出轴旋转的过程中，无需额外套设密封装置，有效减小了吸盘旋转组件在沿输出轴轴向上的高度，进而实现了小型化设计。

　　天眼查资料显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司，成立于2016年，位于北京市开元体育，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本16800万人民币，实缴资本16800万人民币。通过天眼查大数据分析，北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目82次，知识产权方面有商标信息15条，专利信息419条，此外企业还拥有行政许可10个开元体育。